この製品は一般的に下記名称で呼ばれている商品です。
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- バックグラインドテープ（Pシリーズ）
バックグラインドテープは、ウエハーなどの裏面研削（バックグラインド）時に回路面を外的異物による傷、 チッピング・クラック（割れ）、レシデューやパーティクルコンタミネーションなどの汚染から保護するために使用されます。 ウエハーの大型・薄型化や高バンプ仕様の開発に伴い、テープに要求される主な点は、（1）汚染からの保護、（2）ワークへの追従性、（3）剥離のしやすさ、が挙げられます。 DENKAのエレグリップ BG テープの粘着剤は、これらの要求事項を満たし、さらに非水溶性のため水回りに強く、洗浄する必要がありません。 お客様それぞれのニーズを考慮し、お客様に最適なテープを選定いたします。
特徴
- 回路面等凹凸ウエハーに対する優れた密着性
- パーティクル発生を抑制
- 裏面研削時水回りに抜群の研削精度（TTV)
- 優れた易剥離性
- 粘着力の経時変化抑制
| 品種 | 基材 | 色相 | 総厚 (μm) |
粘着剤厚 (μm) |
粘着力 (N/20mm) |
プローブタック (N/20mm2) |
備考 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| BGE-122S | EVA | LB | 140 | 20 | 1.2 | 1.2 | 標準タイプ |
| BGE-122V | 1.7 | 1.5 | |||||
| BGE-1240A6 | 160 | 40 | 0.3 | 1.7 | |||
| BGE-124S | 1.3 | 1.3 | 凹凸有りウエハ研削用 | ||||
| BNY-1250A3 | 170 | 50 | 1.6 | 2.5 | |||
| BNY-1250A4 | 1.2 | 2.2 | |||||
| BGE-164VC | 200 | 40 | 2.4 | 2.9 |
※上記数値は代表値であり、保証値ではありません。
※色相：MW(乳白)、LB(ライトブルー)、T(透明)
※はく離フィルム(セパレータ)の厚さは含まれておりません。
データ等記載内容についていかなる保証をなすものではありません。
当社製品およびこれらを使用した製品を廃棄する場合は、法令に従って廃棄してください。
記載内容は、新しい知見により断りなく変更する場合がありますので、ご了承ください。
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